在精密定位,定位检测的降低成本・节省空间・特殊环境下操作方面有疑问的工程师们

Q&A改善事例

?使用光电传感器很难检测出半导体装置的硅片存在

您好,我是机械装置厂家的工程师。
目前从事半导体硅片的运送机器人的设计。

现在机械臂上的“硅片有无的检出”是使用“穿透型光电传感器”的。

镀膜时的显示窗口上有雾气导致错误检知,或由于光电传感器的信号动作点用肉眼是看不到的,不得已要在现场安装调整传感器,致使花费2天以上的时间,这些都是非常费工夫的,实在是让人伤脑筋。

在看贵公司的“Q&A改善事例”时,好像有对应真空环境的开关,不过我想确认一下,接触式的开关不会伤到敏感的硅片吗?

!通过0.5N的 “低接触力”和 “特殊树脂”直接接触硅片!

谢谢您的提问。

觉得“在真空环境下不能使用传感器…”所以想要放弃了吗?

美得龙的“精密定位开关”真空对应型,能够达到低接触力0.5N以下。
开关的前端是用高度的低特殊树脂加工而成的,所以不用担心伤到敏感的硅片!!

现今,已经陆续被很多大型导体装置厂家的“硅片运送装置”及“有机EL的镀膜装置”所采用。

如果半导体基板、硅片的精密定位、有无检测而烦恼的话,欢迎来美得龙咨询。