在精密定位,定位检测的降低成本・节省空间・特殊环境下操作方面有疑问的工程师们

Q&A改善事例

真空环境

  • 在FPD真空成膜装置内,想要运载工具原点起动!?2012.03.08更新

  • 真空成膜装置的托盘就位确认,光纤传感器不能实现…2012.03.08更新

  • 校准FPD真空成膜设备里面的玻璃电子线路板,用光纤传感器?!2012.03.08更新

  • 使用光电传感器很难检测出半导体装置的硅片存在2012.03.08更新

  • 为真空成膜装置内的光纤传感器的连接器而伤脑筋...。2012.03.08更新