精密位置決め、位置検出の精度UP・コスト削減・省スペース化・特殊環境対応でお困りのエンジニアの皆様へ

Q&A改善事例

? 真空成膜装置内での、光ファイバーセンサのコネクタで困っています...。

こんにちは、半導体装置業界のエンジニアです。

現在、有機ELパネル向け真空成膜装置内のガラス基板の "精密位置決め" に、
耐真空用の光ファイバーセンサーを使用しているのですが、
センサーのケーブルを蒸着室外に配線する為には、
20万円以上の "特殊コネクター" が必要に…。

高価な "特殊コネクター" を使わず、
真空環境下で、確実に "精密位置決め" するには
どうしたらよいでしょうか?

! 高真空環境下での位置決めは「精密位置決めスイッチ」にお任せください!!

ご質問ありがとうございます!

「真空環境下で、機械式スイッチは使えない…」と、あきらめていませんか?

メトロールの高真空度クラス対応形スイッチは、
低アウトガス対応部品だけで製造した "精密機械式" なので、
10-5Paまでの高真空度クラスに対応!

2~3万円の "汎用真空コネクター" が利用できるので、
装置外への配線も、大幅コストダウンすることができます。

メトロールの位置決めスイッチは、
「高真空」環境以外にも「対放射線」や「磁界」などでの採用に実績があります。

半導体・基板の "精密位置決め" でお困りの方は、ぜひ一度メトロールまでご相談ください。