精密位置決め、位置検出の精度UP・コスト削減・省スペース化・特殊環境対応でお困りのエンジニアの皆様へ

Q&A改善事例

? 光電センサによる、半導体装置のウェハーの有無検出に困っています…。

こんにちは、機械装置メーカーのエンジニアです。
半導体ウェハーの搬送ロボットを設計しています。

現在、ピックアーム上の "ウェハーの有無検出" に、「透過型光電センサー」を使用しているのですが、
蒸着時に「ビューポート」が曇って誤検知したり、
光電センサーは信号動作点が目に見えないため、現場でのセンサ取付け調整に2日以上掛かかってしまったりと、手間ばかりかかって困っています。

御社の「Q&A改善事例」を拝見したところ、真空環境対応のスイッチがあるようですが、
接触式のスイッチでは、繊細なウェハーを傷つけてしまわないでしょうか?

! 0.5Nの "低接触力" と "特殊樹脂" で、ウェハーに直接タッチ!

ご質問ありがとうございます!

「真空環境下ではセンサは使えない…」と、あきらめていませんか?
メトロールの「精密位置決めスイッチ」真空対応型は、0.5N以下の低接触力が可能。
スイッチの先端を、高度の低い特殊樹脂にカスタマイズできるので、繊細なウェハーに傷をつける心配はありません!!

現在では、大手半導体装置メーカーの「ウェハー搬送装置」や「有機ELの蒸着装置」に続々採用されています。

半導体基板・ウェハーの精密位置決め・有無検出でお困りの方は、ぜひ一度メトロールまでご相談ください。