精密位置決め、位置検出の精度UP・コスト削減・省スペース化・特殊環境対応でお困りのエンジニアの皆様へ

Q&A改善事例

? FPD真空成膜装置内のガラス基板のアライメントに、光ファイバセンサ!?

こんにちは、半導体製造装置メーカーのエンジニアです。

FPD向け真空成膜装置内のガラス基板のアライメント(精密位置決め)機構に、光ファイバセンサを使用しているのですが、
装置外からビューポート(覗き窓)越しに、光を照射する必要があり、ビューポートの加工に、コストが掛かり困っています…。

メトロールのスイッチは、真空装置外のXYステージ精密位置決めで実績があるそうですが、真空装置内で使用できるスイッチはありますか?

! 高真空環境下でのアライメントも、「精密位置決めスイッチ」にお任せください!!

ご質問ありがとうございます。
高真空環境下、FPD向け真空成膜装置内でのアライメントも、「精密位置決めスイッチ」にお任せください。

メトロールの真空対応形スイッチは、電子素子を使わない"精密機械式"。
低アウトガス対応部品で構成されているので、10-5Paの高真空度にも対応。
アライメント機構に直接組み込むことで、ビューポートが不要になり、大幅なコスト削減が可能になります。

大手半導体装置メーカーの スパッタリング装置 や 半導体蒸着装置、エッチャーなどの真空装置に続々と採用!
真空環境下での位置決めでお困りの方は、ぜひ一度メトロールまでご相談ください。