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Q&A改善事例

? 半導体検査装置テーブルのXY軸を補正したい...

こんにちは、半導体検査装置メーカーのエンジニアです。

XY軸テーブルを使用し、半導体を移動させているのですが、
使用しているうちに、機械の自己発熱によりテーブルのXY座標が、
ミクロン単位でズレてしまい困っています。

半導体の品質管理には、ミクロン単位でのテーブル制御が不可欠なのですが、
よい方法はありませんか?

! XYテーブルの熱変位補正もお任せください!

ご質問ありがとうございます。

XY軸テーブルの熱変位補正も、メトロールにお任せください。
X軸、Y軸のテーブル端面に、「精密位置決めスイッチ」を使用し変位量を検知する事により、
テーブルのズレを、補正する事が可能です。
パルスモーターを使用したテーブルでも、熱変位をミクロン単位で検知することができます。

テーブルの位置決めでお困りの方は、ぜひメトロールまでご相談ください。