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Q&A改善事例

? FPD真空成膜装置のトレイ着座確認に、光ファイバセンサ。光が届かず困っています…

こんにちは、半導体製造装置メーカーのエンジニアです。

FPD向け真空成膜装置内の「マスク」が、トレイに着座したかを検出をするセンサーを探しています。

通常は、装置外からビューポート越しに光ファイバセンサを使い、検出するのですが、
光が届きにくい場所にマスクがあり、うまく検出する事ができません。

真空環境下のため、装置内で使用できるセンサも見つかりません…。

マスクのずれによる不良品の発生を防ぐには、確実な着座確認が不可欠なのですが、何かよい方法はありませんか?

! FPD真空成膜装置内の着座確認は「真空対応スイッチ」にお任せください!!

ご質問ありがとうございます。
高真空環境下での着座確認も、「精密位置決めスイッチ」にお任せください。

メトロールの真空対応形スイッチは、低アウトガス部品だけで製造された『精密機械式』で、
10^-5Paの高真空度クラスに対応可能!

トレイに直接埋め込む事で、従来の「光ファイバセンサ」では検出不可能であった場所での着座確認が実現!
接触式の『精密機械式スイッチ』なので、ワークの着座を確実に検知します。

大手半導体装置メーカーの スパッタリング装置 や 半導体蒸着装置、エッチャーなどの真空装置に採用実績があります。
真空環境下での位置決めでお困りの方は、ぜひ一度メトロールまでご相談ください。