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Q&A改善事例

? FPD真空成膜装置内で、キャリアの原点出しをしたい!?

こんにちは、半導体製造装置メーカーのエンジニアです。

FPD向け真空成膜装置内の「キャリア」の原点出しができるセンサーを探しています。

キャリアの始動原点は、製品の品質にも大きく影響するのですが、
真空装置内で使用できる高精度なセンサがなく、今まで原点出しはしていませんでした。

メトロールのスイッチは、機械の「原点スイッチ」として、
XY軸テーブルの原点出しや、刃先の原点出しで実績があるそうですが、
高真空環境下でも使用できる、最適な製品はありますか?

! 高真空環境下での原点出しも「精密位置決めスイッチ」にお任せください!!

ご質問ありがとうございます。

高真空環境下での着座確認も、低アウトガス仕様の「精密位置決めスイッチ」にお任せください。
メトロールの真空対応形スイッチは、10-5Paの高真空度に対応。

装置に直接埋め込む事により、従来不可能であったキャリアの原点出しが実現します。


大手半導体装置メーカーの スパッタリング装置 や 半導体蒸着装置、エッチャーなどの真空装置に採用実績があります。
真空環境下での位置決めでお困りの方は、ぜひ一度メトロールまでご相談ください。