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Q&A改善事例

? 悪環境下での「半導体ウェハーの厚さ測定」、エアセンサの応答性が悪くて困っています…

こんにちは、半導体メーカーのエンジニアです。

グラインダー機内での "半導体ウェハー厚さ測定" に、「エアセンサ」を使用しているのですが、
エア配管の取り回しが長いため "応答性" が悪く、困っています。

できるだけ、測定エアノズルの近くに「エアセンサ」を設置したいのですが、
機内は 水が飛び散る悪環境 のため、センサを設置することができません…

測定のタクトタイムが、生産性に大きく影響するのですが、
良い方法はありますか?

! 悪環境下での「半導体ウェハーの厚さ測定」は、メトロールにお任せください。

ご質問ありがとうございます!
悪環環境下での "半導体ウェハー厚さ測定" も、メトロールにお任せください。

メトロールの「空圧式密着確認スイッチ」は、エアセンサ内部に防水スイッチを内蔵した新方式。
防塵防水性に優れ、グラインダー機内に設置する事ができるので、"応答性" が向上。
測定タクトタイムが改善し、生産性の向上が実現します!!

CNCグラインダーや、ラップ盤、工作機械機内での密着確認、エアマイクロ、エアーセンサーの防塵防水でお困りの方は、ぜひメトロールまでお問い合わせください。