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Q&A改善事例

? 半導体ウェハーの厚さ測定「レーザー変位センサ」、悪環境下での誤検知に困った…。

こんにちは、半導体製造装置メーカーのエンジニアです。
半導体ウェハーの表面仕上げに用いる、ラップ盤の設計をしています。

現在、半導体ウェハーの厚さ測定に「レーザー変位センサ」を検討しているのですが、水やシリコンウェハーの切粉など、悪環境下での誤検知に困っています…。
空圧センサも検討しましたが、繰返し精度が20μmと低く、精密な厚さ測定には使用できませんでした。

非接触で半導体ウェハーを傷つけず、精度の良い厚さ測定を行いたいのですが、何か良い方法はないでしょうか?

! 2μm繰返し精度で非接触!半導体ウェハーの精密厚さ測定は、メトロールにお任せ下さい!

ご質問ありがとうございます。
非接触の半導体ウェハー厚さ測定は、メトロールにお任せ下さい。

メトロールの『エアマイクロスイッチ』は、空気マイクロメーターの原理を応用した精密機械式。
従来の空圧センサの10倍、2μmの繰返し精度を実現。

高精度のON/OFF位置信号を、サーボモータで読み取ることで、水やシリコンウェハー切粉の飛散る悪環境下でも、半導体ウェハーの厚さを2μm精度で測定することができます。

CNCグラインダーや、悪環境での工作機械内ワーク計測にも実績があります。
半導体ウェハーの厚さ計測でお困りの方は、ぜひメトロールの『エアマイクロスイッチ』をお問い合わせ下さい。

エアマイクロスイッチのカタログPDFダウンロードはコチラ↓↓↓
http://www.ichigime.com/air/